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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
小型真空泵FV-XP（大流量型）的特點
詳情介紹：
小型真空泵FV-XP（大流量型）的特點
- 通過將隔膜安裝在密閉空間內(nèi)，分兩級進行減壓，且結(jié)構(gòu)為平行結(jié)構(gòu)，與FV-30相比，可獲得約2倍吸力的機構(gòu)。
- HEPA過濾器安裝在進氣和排氣部分。也可用于潔凈室。此外，通過主機的透明窗口可以看到過濾器，因此您可以知道何時需要更換它。
- 處理范圍相當于*大 12 英寸的硅晶圓。
規(guī)格
|
代碼 |
FV-XP |
|
姓名 |
真空泵FV-XP |
|
額定電壓 |
AC-100V(50Hz) |
|
能量消耗 |
10.0W |
|
極限吸氣壓力 |
-60kPa |
|
流量 |
5.0升/分鐘 |
|
尺寸 |
長137×寬88×高133（毫米） |
|
大量的 |
1.250克 |
|
續(xù)航時間 |
超過 9,000 小時 |
|
使用限制溫度 |
40℃ |
注1：泵流量和極限吸入壓力值均以50Hz表示。在 60Hz 下使用時，下降約 20%。
*此數(shù)據(jù)基于國內(nèi)規(guī)格。
*此數(shù)據(jù)基于國內(nèi)規(guī)格。
泵緩沖器
